Thermo Scientific™ Étalons de taille de particules SURF-CAL™

Description

Simplifiez la préparation des wafers d’étalonnage avec les étalons de tailles de particules Thermo Scientific™ SURF-CAL™, pour l’étalonnage et la maintenance des systèmes d’inspection de surface d’exploration (SSIS). Les dimensions de particules disponibles correspondent aux tailles de point d’étalonnage requises par les fabricants d’instruments.

Thermo Fisher Scientific™, de concert avec l’industrie des semi-conducteurs et le SEMI, a établi des tailles de particules spécifiques à utiliser lors de l’étalonnage des systèmes d’inspection de surface d’exploration. En collaboration avec les fabricants d’instruments, nous avons créé la gamme de produits SURF-CAL™ pour répondre aux normes SEMI.

• Les tailles disponibles sont considérées être des nœuds de dimensionnement critiques comme défini par l’International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS).
• En déposant des sphères en latex de polystyrène (PSL) traçables NIST™ SURF-CAL™ sur des plaquettes spécialement sélectionnées, vous pouvez effectuer les vérifications d’étalonnage périodiques et comparer votre scanner avec des scanners situés dans d’autres endroits.
• Vous pouvez également évaluer les performances de vos SSIS à des étapes critiques du procédé de fabrication.
• Tous les produits sont mis en suspension dans de l’eau déminéralisée, filtrée dans des flacons de 50 ml à une concentration de 3 × 10⁸ particules par ml.

Remarque :

Les produits PD1100 et inférieurs sont également disponibles à raison de 10¹⁰ particules par ml pour les applications assistées par un analyseur de mobilité différentielle (AMD) ou d’autres techniques d’exclusion stérique.